德国HYDAC贺德克压力传感器如何输出

德国HYDAC贺德克压力传感器如何输出

德国HYDAC贺德克压力传感器将压力(一般指液体或气体的压力)转换为电信号输出,

该压力电信号也可进而用于测量静态流体的液位,因此可用来测量液位。

贺德克压力传感器的敏感组件主要有硅杯敏感元件、硅油、隔离膜片和导气管组成,

被测介质压力P通过隔离片和硅油传递到硅杯元件的一-侧(见图) ,大气参考压po通过导气管作用到硅杯元件的另- -

侧,硅杯元件是一个底部加工 得很薄的杯形单晶硅片。

德国HYDAC贺德克压力传感器如何输出

杯底膜片在压力P和Po做用下产生位移极小的弹性变形,单晶硅是理想的弹性体,

变形与压力成严格的正比关系,而且复原性能又好。

硅膜片_上用半导体扩散工艺形成的四个桥路电阻布置成方形,当硅膜片受到压力产生变形时,

处于对角线上的二电阻受压应力,而另为二个电阻受张应力,由于扩散硅的压阻效应,

使相对的二个电阻阻值增大,二另为二个电阻阻值减小。

如果在A-A二端上加上电压,则C-D间就有一个P-Po差压成正比的电压信号输出

德国HYDAC贺德克压力传感器如何输出